多晶硅生產(chǎn)過程煙氣量大，成分復(fù)雜，粉塵顆粒小(0.1~10μm)，傳統(tǒng)過濾方式采用金屬粉末燒結(jié)材料、多層燒結(jié)金屬絲網(wǎng)過濾材料，其普遍存在過濾效率低，攔截效率低等問題。ZSWF-粉氈金屬膜，采用50μm精密過濾層復(fù)合400μm支撐層，過濾精度可達(dá)0.1μm，滲透效率高于傳統(tǒng)材料5倍以上，可有效代替?zhèn)鹘y(tǒng)粉末燒結(jié)多孔材料及燒結(jié)金屬絲網(wǎng)多孔過濾材料。